Vasily Kozhevnikov

Independent Researcher

Scientific Consultant

Ph.D. in Physics

Доктор физико-математических наук

IEEE Senior Member

Vasily Kozhevnikov
Vasily Kozhevnikov

Independent Researcher

Scientific Consultant

Ph.D. in Physics

Доктор физико-математических наук

IEEE Senior Member

4. Технология ультракороткого мощного импульсного магнетронного распыления

Основная проблема

Современные широко распространённые методы промышленного нанесения тонких плёнок и покрытий (dcMS, MPPMS, дуговое осаждение, HiPIMS) имеют фундаментальные ограничения которые негативно влияют как на качество наносимых покрытий (однородность, адгезию, плотность, химическую стойкость и пр.), так и на показатели производительности процессов осаждения и роста плёнок.

Инновационное решение:

Использование наиболее современного технологического подхода - короткого и сверхкороткого мощного импульсного магнетронного распыления (s/us-HiPIMS).

Рынок и востребованность технологии

Микроэлектроника, лабораторная оптика и фотоника, медицинские импланты, инструментальные покрытия, солнечная и водородная энергетика.

Команда проекта

На этапе НИР кроме руководителя, требуются инженеры-электронщики и техники, далее, на этапе ОКР и производства - программисты, конструкторы и технологи.

Дорожная карта проекта

ЭТАП 1 (НИР, TRL 3-4)
₽ 35-40 млн.
  • Цель: разработка и создание лабораторного макета установки us-HIPIMS, численное моделирование разряда, выбор оптимальных режимов для базовых материалов (Ti, Cr, C);

  • Срок: 12–18 месяцев;
  • Ожидаемый результат: действующий лабораторный стенд, подтверждённые режимы осаждения для 2–3 материалов, ТЗ на ОКР;
  • Источники финансирования: инвестиции.
ЭТАП 2 (ОКР, TRL 5-6)
₽ 70-90 млн.
  • Цель: проектирование опытно-промышленного образца, отработка технологических процессов на тестовых изделиях (инструменты, пластины, импланты), подготовка патентов и документации;

  • Срок: 18–24 месяцев;
  • Ожидаемый результат: опытный образец, технологические регламенты, протоколы испытаний, патентная заявка;
  • Источники финансирования: инвестиции, заказы от индустриальных партнёров.
ЭТАП 3 (ПРОИЗВОДСТВО, TRL 7-9)
₽ 25+ млн.
  • Цель: сертификация, серийный выпуск установок, лицензирование, продажи и сервис;

  • Срок: с третьего года;
  • Ожидаемый результат: готовый продукт на рынке, партнёрства с производителями оборудования;
  • Источники финансирования: оборотные средства, кредиты, предоплаты.

Вас заинтересовал проект и Вы хотите обсудить его?

Пожалуйста, свяжитесь со мной или просто воспользуйтесь формой обратной связи, нажав кнопку внизу: